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　　HMDS的化學(xué)名稱為六甲基二硅胺或氮烷, 外觀是無色透明液體，無懸浮物及機械雜質(zhì)。

　　HMDS預(yù)處理烘箱主要用途：

　　盤尼西林、頭孢霉素、氟尿嘧啶及各種青霉素衍生物等硅藻土、硅石、鈦等粉末的表面處理。半導(dǎo)體工業(yè)中光致刻蝕劑的粘結(jié)助劑。

　　HMDS預(yù)處理烘箱與硅片反應(yīng)機理：先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應(yīng)，在硅片表而生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個反應(yīng)持續(xù)到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進一步反應(yīng)。

HMDS預(yù)處理烘箱的工作流程：

　　先確定HMDS預(yù)處理烘箱工作溫度。典型的預(yù)處理程序為：打開真空泵抽真空，待腔內(nèi)真牢度達到某一高真空度后，開始充人氮氣，充到達到某低真空度后，再次進行抽真空、充入氮氣的過程，到達設(shè)定的充入氮氣次數(shù)后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后HMDS預(yù)處理烘箱再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達設(shè)定時間后，停止充入 HMDS藥液，進入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達到設(shè)定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮氣，完成整個作業(yè)過程。